爐體尺寸

φ1900*H1300

有效空間

φ1600*H1000

工件最大直徑*數(shù)量

φ175*20

標準配置

陰極弧8個/中頻圓柱靶6對

工作電壓/頻率

380V/50Hz

實際功率

120KW

應用技術

ZP+ARC（選配）

靶材數(shù)量

圓柱靶12個/弧靶8個

極限壓力

5.0×10^-4Pa

漏率

<10^-3Pa.L/s

抽氣時間

大氣到4X10^-3 < 25分鐘

真空系統(tǒng)

分子泵、羅茨泵、旋片泵

標準涂層效果

IP黑，玫瑰金，IP金，寶石藍，香檳金，炫銀，咖啡色，七彩，槍黑色，鋯金，玫瑰紅等

電源類型

直流疊加脈沖偏壓電源、中頻磁控濺射電源、專用真空弧電源

工件轉(zhuǎn)架結(jié)構

下轉(zhuǎn)架結(jié)構

真空室結(jié)構

立式單開門

生產(chǎn)周期

1.5-3.5小時/爐

外圍尺寸

L3600*W3200*H2600mm

控制方式

手動+半自動+全自動一體化  

配套條件

循環(huán)水壓力：2-3KG/CM³

工業(yè)PC+工控軟件+PLC

水量：10T/H  

自己開發(fā)的鍍膜專用控制軟件

壓縮空氣：4-6 KG/CM³

工作氣體

Ar、N₂、O₂、C₂H₂等

應用

裝飾類產(chǎn)品鍍膜

備注

真空室尺寸，外圍尺寸，設備外觀等可按客戶產(chǎn)品或及特殊工藝要求訂做，以上信息僅供參考。