PVD前清洗方法大全

　　清洗方法：超聲波清洗法

　　清洗手段：采用純水、中性洗滌劑、異丙醇液體甲基睪丸酮等洗滌介質(zhì)

　　清洗過(guò)程：本法作為擦洗清洗后的處理工藝清除油脂污物，其過(guò)程是光用中性洗滌劑逆行擦洗，然后用純水超聲波清洗15分鐘。之后純水沖洗。再用異丙醇超聲波清洗15分鐘，之后異丙醇清洗，最后用純水超聲波清洗后純水沖洗。然后經(jīng)氮?dú)獯碉L(fēng)機(jī)吹干。

　　清洗方法：離子轟擊清洗法

　　清洗目的：去除表面污物和吸附物

　　清洗手段：采用離子轟擊

　　清洗過(guò)程：基片置于10~1000Pa的真空室中施加0.5~1KV高壓產(chǎn)生低能量的輝光放電后使加速的正離子轟擊基片表面。

　　清洗方法：烘烤清洗法

　　清洗目的：去除水分子

　　清洗手段：采用加熱使基片升溫

　　清洗過(guò)程：在高真空中將基片加熱到200℃后去除基片上殘余的清洗液及水分。也可以在大氣下加熱到300-500℃高溫，加熱時(shí)間在30-60分鐘。

　　清洗方法：蒸汽清洗法

　　清洗目的：去除油脂等碳?xì)浠衔?br />
　　清洗手段：采用甲基睪丸丙酮、異丙烯、三氯乙烯等蒸汽

　　清洗過(guò)程：先進(jìn)行擦洗清洗或超聲波清洗后再用此法。其過(guò)程是將基片放在沸騰的甲基丸酮、異丙烯或三氯乙烯蒸汽中使附著的油脂溶解。

　　清洗方法：紫外線和臭氧清洗法

　　清洗目的：去除動(dòng)脂等有機(jī)物

　　清洗手段：采用紫外線和臭氧的物理化學(xué)作用

　　清洗過(guò)程：本法是作為上述各種方法的后處理工藝來(lái)使用，其過(guò)程是將基片置放在低壓紫外線輻照器和臭氧發(fā)生器下面用紫外線向臭氧照射幾十秒，紫外線強(qiáng)度在基片為5mm處為1.6mw/cm2，臭氧發(fā)生器距基片約為6cm.

　　鍍前處理方法：有機(jī)溶劑去油法

　　清洗目的：去油

　　工藝過(guò)程式配方：三氯乙烯、三氯三氟乙烷、二氯二氟乙烷、汽油、丙酮、四氯化碳溶制等溶液。去油規(guī)程是：汽油擦去零件表面油脂，放入溶液缸內(nèi)浸洗3-10分鐘，再放三氯乙烯槽用超聲波去油5-10分鐘。

　　備注：三氯乙烯去油效果最好，但毒性大，用時(shí)應(yīng)注意通風(fēng)。鋁、鎂零件等用三氯乙烯。

　　鍍前處理方法：汽油、丙酮聯(lián)合去油法

　　清洗目的：去油

　　工藝過(guò)程式配方：先對(duì)零件表面用汽油浸泡的棉紗擦洗，或在汽油內(nèi)進(jìn)行超聲波清洗12-20分鐘，汽油除油后再用丙酮除油，方法如上。

　　鍍前處理方法：堿溶液化學(xué)去油法

　　清洗目的：利用浮化作用去掉金屬表面上的礦物油

　　工藝過(guò)程式配方：可在海鷗洗凈劑與水配比為1:10的溶液中煮沸10-15分鐘，或用超聲波振動(dòng)20-30分鐘去油。

　　鍍前處理方法：乳化去油法

　　清洗目的：去除金屬上粘附的潤(rùn)滑油脂

　　工藝工程式配方：配方為：O·P乳化劑：5-8g/l

　　水玻璃：50-60g/l

　　105號(hào)洗滌劑：5-10g/l

　　焦磷酸鈉：3-15g/l

　　將焦磷酸鈉放入油槽攪拌均勻，按規(guī)定量放入O·P乳化劑、水玻璃和105號(hào)洗滌劑，不斷攪拌注入適量水，保持溫度30℃左右即可。

　　鍍前處理方法：電化學(xué)去油法(即電解去油法)

　　清洗目的：去油

　　工藝過(guò)程式配方：以被去油零件為一個(gè)電極(常用陰極)加上直流電壓，電解液為10-20%的NaOH或純堿，工作溫度為30-80℃

　　鍍前處理方法：金屬零件去污法

　　清洗目的：去除零件表面的氧化物、毛刺、疏松結(jié)構(gòu)

　　工藝過(guò)程式配方：用一定流速的氧化鎂細(xì)粉和水的混合物向金屬零件表面噴射，也可用滾筒內(nèi)加磨料(如金剛細(xì)沙、木屑、棉籽皮等)進(jìn)行拋磨。

　　鍍前處理方法：金屬零件化學(xué)清洗法

　　清洗目的：去掉表面氧化物氧化膜的各種污物

　　工藝過(guò)程式配方：一般是先按上法去油，再在化學(xué)清洗液中浸洗，用自來(lái)水沖洗5-15分鐘，再浸入2-5%的氨水溶液中和，再用自來(lái)水沖洗后，去離子水浸洗兩次，最后用無(wú)水乙醇浸泡脫水，再用80-100℃干燥箱烘干或熱風(fēng)吹干。

　　備注：工業(yè)上應(yīng)用時(shí)，可用氟利昂代替無(wú)水乙醇。

　　鍍前處理方法：刀具鍍TiN的鍍前處理法

　　清洗目的：去油、去污、清楚表面疏松組織及毛刺脫水等

　　工藝過(guò)程式配方：三氯乙烯浸泡3分鐘去油，帶有蒸汽的三氯乙烯浸泡和蒸汽浴3分鐘，50℃堿性金屬清洗機(jī)超聲波清洗3分鐘，25℃去離子水浸泡，可流動(dòng)水沖洗及超聲波液處理，氟利昂113浸泡3分鐘并附以手動(dòng)噴槍噴射F113處理過(guò)程應(yīng)在良好通風(fēng)的系統(tǒng)中進(jìn)行。